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PHI4700俄歇电子能谱仪/薄膜分析仪

最高成本效益的表面分析仪器

俄歇电子能谱的一个全新概念

PHI4700Thin Film AnalyzerTM

Automated Scanning Auger Depth Profiler

俄歇电子能谱是透过使用电子束击打在固体样品上时,去分析被激发出的俄歇电子动能,以获取有关样品元素组成的信息。PHI4700薄膜分析仪,使用了世界最高灵敏度的能量分析仪(1.6Mcps Cu LMM 在10nA的电子束流时),可以非常有效率的进行各种样品的俄歇表面分析和深度分析。再配上了PHI 公司在业界取得非常成功的SmartSoft软件,让操作更加简化。造就PHI 4700 成为世界上第一台高自动化的俄歇电子能谱薄膜分析仪。

PHI4700俄歇电子能谱仪/薄膜分析仪 能谱仪 第1张

仪器特点:

1、拥有最高的灵敏度与分析效率

2、强大的自动分析功能

3、配合SmartSoft-AES实现了最简易的操作模式

Feature1PHI4700俄歇电子能谱仪/薄膜分析仪 能谱仪 第2张

高灵敏度,高通量能量分析器与简易自动化的俄歇深度分析,使最佳的仪器成本效益可以轻易获得PHI4700薄膜分析仪透过在SEM中快速的微米分析区域定位,可能快速的执行并获得

包括深度分析的分析结果。右例为手机镀金电极的正常品与另一使用多年并且已变色的旧品的分析比较。就结果所见,变色的手机屏幕上,有着不预期的Ni(镍)讯号扩散到金镀层,从而就知道了屏幕变色的原因。


Feature2PHI4700俄歇电子能谱仪/薄膜分析仪 能谱仪 第3张

高通量分析仪配合上高灵敏度测量的自动化分析

高灵敏度分析使PHI  4700薄膜分析仪分析测量所使用的时间减少了。此外,由于仪器配备了自动测量的功能,让 PHI 4700成为一个媲美高级的生产设备,可以在很短的时间测量多个样品。

自动测量的设定只需要简单的在样品图上加上需要的分析区域,排列成队列后就由软件自动进行。

Feature3

SmartSoft-一个易於操作的Windows软件ޓ高通量分析仪配合上高灵敏度测量的自动化分析PHI4700薄膜分析仪透过在SEM中快速的微米分析区域定位,可能快速的执行并获得包括深度分析的分析结果。右例为手机镀金电极的正常品与另一使用多年并且已变色的旧品的分析比较。就结果所见,变色的手机屏幕上,有着不预期的Ni(镍)讯号扩散到金镀层,从而就知道了屏幕变色的原因。高灵敏度分析使PHI  4700薄膜分析仪分析测量所使用的时间减少了。此外,由于仪器配备了自动测量的功能,让 PHI 4700成为一个媲美高级的生产设备,可以在很短的时间测量多个样品。自动测量的设定只需要简单的在样品图上加上需要的分析区域,排列成队列后就由软件自动进行。ޓSmartSoft是PHI4700薄膜分析仪在Windows上运行的控制软件。包括SEM观察、测量数据、和各分析定义的种种,即便是一个初学者,都可以轻易的在单一简化的介面上进行操作。更高阶的功能,如Zalar旋转都已内建在软件当中,使测量能力得到了增强。SmartSoft的操作简单,在一个屏幕上可以控制到多种功能的测量,获得了高效率和满足分析工作的需要。

PHI4700俄歇电子能谱仪/薄膜分析仪 能谱仪 第4张

标准设置要求PHI4700俄歇电子能谱仪/薄膜分析仪 能谱仪 第5张

●仪器配置

①装置本体 ②电子控制柜本体 ③电脑桌

重量:约1,000 kg

平面面积:260 cm x 260 cm

搬运门:宽100 cm以上,高195 cm以上

●场地要求

电力:200-230 V 单相交流电 50 A  50/60 Hz

接地线:D-Type

压缩空气:最小620 kPa

干氮气:最大18 kP

Ar气:纯度 99.9995%以上,最大18 kP

●环境要求 

溫度:20±3℃

湿度, 静态磁场, 交变磁场,振动, 噪音

散热:少於 6,600 W (仪器烘烤时)

仪器性能:

●灵敏度:在10kV10nA电子束源与能量解析度在0.4%时对Cu LMM峰分析可达1.6Mcps

● 探测器:16通道的检测器

● 电子源:LaB6(六硼化镧)

样品台:5轴全自动样品台

● 样品台尺寸:1英寸/2英寸

● 离子束加速电压:0 到 5千伏可变

● 离子束最大溅射范围:4mm x 4mm

● 真空度规格:<=6.7 x 10-8 Pa

◎ 可选配:加热冷却样品台、真空传输管、传导室摄像头和样品台暂存装置台

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