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平面度扫描仪FLATSCAN

非接触自动2D或3D测量所有反射表面,如晶圆、玻璃、金属表面等的弓度、翘曲、表面轮廓及平面度,并通过软件计算其薄膜应力。

平面度扫描仪FLATSCAN 半导体 第1张

产品特性

 高测量精度

 非接触式测量

 可选择2D或3D测量

 近似任意大小的可测量面积

 适用于高弯曲表面,如X射线反射镜(多层膜反射镜)、硅晶圆等

 通过可以检测更高的弯曲度

测量原理

平面度扫描仪FLATSCAN 半导体 第2张
平面度扫描仪FLATSCAN 半导体 第3张

垂直于样品表面的入射光,经过表面反射后形成的反射角,会因表面轮廓的不同而产生变化。FLATSCAN正是依据测量点之间反射角的变化,通过软件重新计算并构建了样品表面轮廓,实现了全自动高精度的测量。

FLATSCAN适用于任意种类反射表面的,平整度、波纹度和弯曲(弓/翘曲)的非接触式测量,如硅晶圆、镜面、X射线反射镜(多层膜反射镜/Goebel镜)、金属表面、抛光的聚合物等等。

高精度,任意测量面积

FLATSCAN能够提供很高的测量精度,其测量系统的分辨率为0.1arcsec,测量精度1arcsec,对于200mm测量的可重复性在100nm以内,完全满足厂家、质检部门的需求。

另外,采用的测量原理还具备一个特点,即测量面积的无关性。因此,对于标准测量面直径(200mm),几乎可以任意扩展,而且对测量精度毫无影响。

更大的测量范围,更高的工作距离

测量范围是指一次扫描所能测量的最大箭头高度(或者最小曲率半径)。FLATSCAN拥有极大的测量范围,这是同类测量产品(如条纹激光干涉仪)无法达到的。

FLATSCAN不仅可以用来检测平面镜,对于较大曲率的反射平面,如晶圆、X射线反射镜、抛光过的塑料制品等任意种类的反射表面都有很好的测量效果。而且,所采用光学测量原理与工作高度无关。因此,我们制定出更高工作距离的仪器,以适应用户的不同需求。

自由选择2D或3D测量

平面度扫描仪FLATSCAN 半导体 第4张

根据设备类型,用户可以选择单行扫描(2D)或者全方位3D测量。操作软件能提供多种功能,用于测量结果的图形和数字评估,如三维图、剖面图、测量记录等等。

薄膜应力

对于薄膜、单层或者多层镀膜的应力,软件主要依据Fowkes的理论,通过检测镀膜前后,基板曲率半径的变化量计算得到。比如在半导体行业或者其他应用领域,当反射表面被加工处理后(镀膜或者去镀膜),操作人员能够利用FLATSCAN快速地对晶圆薄膜应力进行检测。

部分技术参数*


FLATSCAN

表面曲率的重复性(P-V值)

≤ 100nm**

光学测量系统的分辨率

0.1角秒

光学测量系统的精度

1角秒

测量速度

10mm30mm/秒

测量面积

200mm800mm或更大

样品厚度

不限

扫描长度对应最小曲率半径要求

200mm: R = 18 m 290 µm, 300 mm: R = 25 m 435 µm, 500 mm: R = 43 m 725 µm

测量波长

670nm

工作距离

不限

支持自动检测

 

* 以上均为标准参数,特殊需求可以定制。

** 同一扫描仪50次测量后的标准误差。



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