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精密接触角测量仪SURFTENS automatic

全自动接触角、表面自由能测量仪器,附带操纵杆,自动定位样品的位移台,以及步进电机驱动的滴液装置。

精密接触角测量仪SURFTENS automatic 半导体 第1张
SURFTENS AUTOMATIC是专为半导体工业和研究,特别是用于控制晶圆的涂层和光刻工艺而开发的,精密接触角测量仪器。它具有下列特点:

 适应无尘室要求

 紧凑的结构设计

 简单直观的操作界面

 全自动样品定位、滴液及接触角测量

 依据吴氏理论计算表面自由能

精密接触角测量仪SURFTENS automatic 半导体 第2张

应用范围

检查硅晶圆表面的湿润程度,是对于半导体工业(比如在电路或者太阳能电池制造)的标准步骤。为了在生产过程中把关技术参数,或者开发新的镀膜技术,在表面处理后客观检测晶圆的表面自由能显得尤为重要。

对此,OEG公司特别为在无尘室使用,而开发了接触角测量仪器SURFTENS AUTOMATIC,其具有体积小,测量周期短,操作简单等特点。

因为SURFTENS的光学器件和相机无法被人员触碰,所以特别适用于标准技术控制。而事实也证明了这一点 - 在同等测量条件下,同样表面测量能够得到相同的测量结果。

精密接触角测量仪SURFTENS automatic 半导体 第3张

测量软件及功能

测量软件SURFTENS会根据不同的拟合方程(球形、多项式),实现滴液与固体表面接触角的全自动测量。在自由定义的测量网格里,系统会驱动针头自动定位并滴液。然后识别落在样品表面,并在测量场内的液滴,进行接触角的测量。

整个过程十分快速。用户只需一次按键,SURFTENS软件就能自动检测元件表面与液体的接触角,并且在几秒内,测定晶圆表面的均匀性特征,然后输出测量结果。测量数据能够直接被转移到QA软件,或以其他文件形式保存。

标准测量区域为200 x 200mm,特别适合大平面,比如液晶玻璃基板,8英寸或12英寸的晶圆等等。当然对于更大的需求,我们还能为客户特别定制。

当对比度不理想时,用户能通过使用操纵杆调整。对此,软件还提供了额外的功能,比如用户手动设计基线。

另外用户还能自主选择更多的测量与服务功能,以扩展仪器服务范围:

 实时显示接触角

 自动检测与时间相关的接触角变化,并在图标显示(Takt-Time可自由选择,最小50ms)

 在实时图像上测量前进和后退接触角

 同时测量左右两边的接触角,并计算中值

软件还提供评估模组,通过两种已知的测量液体,来计算固体的表面自由能(吴氏理论)。

测量精度

仪器的测量精度和实时视频图像是相关的。当滴下的液体因为环境因素而改变时(比如蒸发),需要借助接触角标准,来确定测量结果的精度。对此,软件提供了如下关于接触角的参数:

 测量分辨率:0.05°

 测量可重复性:±0.1°

 测量精度:±0.5°

部分技术参数


SURFTENS automatic

样品台

200 x 200 mm

样品厚度

最大 5 mm

接触角范围

1°….180°

接触角测量分辨率/精度

±0,05°/ ±0,5°

光学设备

固定放大倍率,电机驱动对焦

图像采集

高分辨率CCD相机,440,000像素

光学倾角

滴液系统

自动滴液(电机驱动),软件控制单次剂量

光源

平板灯,亮度可调

* 以上为标准参数,更多需求可定制

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